SEM(扫描电镜)的原理是基于高能电子東与样品表面相互作用产生的物理信号通过收集和处理这些信号实现纳米级微观形貌观测。
仪器型号及参数
- 仪器型号：ZEISS Merlin Compact
- 仪器技术参数
- 二次电子分辨率: 1.4nm (1 kV，减速模式)
- 放大倍率: x 20~ x 800,000
- 电子枪: 冷场发射电子源
送样要求及注意事项
- 粉状样品50-100mg之间
- 块状样品不能大于5mm宽,高度小于5mm.
- 样品有磁性一定要告知。
测试实例
参考标准
- GB/T 14593-2008：《山羊绒、绵羊毛及其混合纤维定量分析方法 扫描电镜法》
- GB/T 16594-2008：《微米级长度的扫描电镜测量方法通则》，
- GB/T 17362-2008：《黄金制品的扫描电镜 X 射线能谱分析方法》
- GB/T 17722-1999：《金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法》
- GB/T 20307-2006：《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》
- GB/T 25189-2010：《微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法》
- GB/T 27788-2020：《微束分析 扫描电镜图像放大倍率校准导则》
- GB/T 30834-2022：《钢中非金属夹杂物的评定和统计 扫描电镜法》
- GB/T 31563-2015：《金属覆盖层厚度测量 扫描电镜法》
- GB/T 35097-2018：《微束分析 扫描电镜 - 能谱法环境空气中石棉等无机纤维状颗粒计数浓度的测定》
- GB/T 35099-2018：《微束分析 扫描电镜 - 能谱法大气细粒子单颗粒形貌与元素分析》
- GB/T 36422-2018：《化学纤维微观形貌及直径的测定 扫描电镜法》
- GB/T 38783-2020：《贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法》
- GB/T 40905.2-2022：《纺织品 山羊绒、绵羊毛、其他特种动物纤维及其混合物定量分析 第 2 部分：扫描电镜法》
- GB/T 33834-2017：《微束分析 扫描电子显微术 生物试样扫描电子显微镜分析方法》
