椭偏仪原理
椭偏仪用于探测薄膜厚度,光学常数以及材料微结构的光学测量设备。椭圆偏振光在材料表面的反射，已知入射光的偏振态，偏振光在样品表面被反射，测量得到反射光偏振态，计算或拟合出材料的属性
设备型号及参数
- 仪器型号：ME-L 穆勒矩阵光谱椭偏仪
- 仪器技术参数
- 分析光谱：210-1000nm
- 重复性：0.005nm
送样要求及注意事项
3<长<10cm, 3<宽<10cm, 厚<1mm 的平板，表面要求光洁。
测试实例
参考标准
- SEMI M91-0319：《Standard Test Method for Measurement of Silicon Oxide Thickness by Ellipsometry》
- ASTM F2864-18：《Standard Test Method for Measurement of Thin Film Thickness and Optical Constants by Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry》
- ASTM D4146-15：《Standard Practice for Ellipsometric Measurements of Optical Properties of Solid Materials》
- ISO 15031-7:2000：《Road vehicles - Electrical and electronic equipment for vehicles - Part 7: Test methods for optical properties》
