透射电子显微镜(TEM)把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角 散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不同的影像。
仪器型号及参数
- 仪器型号：JEOL 2100
- 仪器技术参数
- 加速电压：200KV
- 最大放大倍数：25～1050,000
- 点分辨率：0.24nm
- 线分辨率：0.14nm
- 样品台最大倾转角：±30度
- 选区衍射相机常数（mm）：60-4600
- 电子枪：LaB6灯丝
送样要求及注意事项
- 粉状样品50-100mg之间
- 液体样品0.5~1mL, 无有机物
- 样品有磁性一定要告知。
测试实例
参考标准
- ISO 21363:2020 纳米材料—透射电镜（TEM）测定粒径分布和形貌
- ISO 19214:2017微束分析—TEM选区电子衍射（SAED）标定方法
- ASTM E3143-18b TEM图像分辨率和放大倍率校准指南
- ASTM F1877-22 半导体器件TEM样品制备标准
