能谱仪(EDS)测试原理
各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E,能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一 特点来进行成分分析的。
仪器型号与技术参数
- 仪器型号:ZEISS Merlin Compact
- 技术参数
- 二次电子分辨率:1.4nm (1 kV，减速模式)
- 放大倍率: x 20~ x 800,000
- 电子枪: 冷场发射电子源
- 元素范围:铍 (Be 4) - 铀 (U 92)
- 分析模式:点、线、面 (Mapping).偏析分析、多相识别、涂层评价
送样要求及注意事项
- 粉状样品50-100mg之间
- 块状样品不能大于5mm宽,高度小于5mm.
- 样品有磁性一定要告知。
测试实例
参考标准
- ISO 15632(2021) Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS)
- ISO 22309(2011) Microbeam analysis — Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above*
- ASTM E1508-12(2019) Standard Guide for Quantitative Analysis by Energy-Dispersive Spectroscopy
- ASTM E2809-22 Standard Guide for Using Scanning Electron Microscopy/X-ray Spectrometry in Forensic Paint Examinations
- GB/T 17359-2023 微束分析 能谱法定量分析通则
